Microscope Stereoscan 430 complet.
Année 1996
Poids approximatif 300kg
Fournit avec
= le manuel d'utilisation d'origine en anglais
= lampes sources supplémentaires neuves
= porte échantillons supplémentaires neufs
Caractéristiques :
* tungsten hairpin filament electrogenerating beam
* accélération voltage: 300 V to 30 keV in 10 volt steps
* electronic beam current: 1 pA to 1 µA
* magnification: 10 to 300 000 ×
* résolution: 5 nm
* wafer holder: up to 4 inches
* X and Y stroke: ± 50 mm
* Z stroke: ± 15 mm
* tilt : 0 to 90 °
* rotation: 360 °
* working vacuum: 1.10-6 up to 0.3.10-4 mbar
Prix : 17 800,00 €